紫外线光源在各种光刻露光领域的应用

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紫外线光源在各种光刻露光领域的应用


紫外线光源在各种光刻露光领域的应用

 

照射对象材料

合适光源

LCD

短弧灯(365nm)

玻璃显示屏

短弧灯(365nm)

HIC

短弧灯(365nm)

转印露光

短弧灯(365nm)

光掩膜露光

超高压汞灯(365nm)

FPC(软印刷配线板)露光

超高压水银灯(365nm)

制版用露光

超高压水银灯(365nm)

130nm晶片

KrF激光(248nm)

90nm晶片

ArF激光(193nm)

65nm晶片

ArF激光(157nm)

32、45nm晶片

LPP、DPP(13.5nm)、EPL(电子线)、X线

汽水混合器 静态混合器 静态管道混合器 搅拌器 静态混合器 管道过滤器 空气过滤器
发布时间:2011-10-1


2018年11月29日 17:54
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