紫外线光源在各种光刻露光领域的应用
照射对象材料
| 合适光源
| LCD
| 短弧灯(365nm)
| 玻璃显示屏
| 短弧灯(365nm)
| HIC
| 短弧灯(365nm)
| 转印露光
| 短弧灯(365nm)
| 光掩膜露光
| 超高压汞灯(365nm)
| FPC（软印刷配线板）露光
| 超高压水银灯(365nm)
| 制版用露光
| 超高压水银灯(365nm)
| 130nm晶片
| KrF激光(248nm)
| 90nm晶片
| ArF激光(193nm)
| 65nm晶片
| ArF激光(157nm)
| 32、45nm晶片
| LPP、DPP(13.5nm)、EPL(电子线)、X线
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汽水混合器 静态混合器 静态管道混合器 搅拌器 静态混合器 管道过滤器 空气过滤器
发布时间：2011-10-1
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